??場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡(FieldEmissionScanningElectronMicroscope,簡(jiǎn)稱FE-SEM)??是一種高分辨率、高放大倍數(shù)、高景深的電子顯微鏡,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、納米技術(shù)、半導(dǎo)體、生物醫(yī)學(xué)、地質(zhì)學(xué)等領(lǐng)域,用于觀察樣品的??表面形貌、微觀結(jié)構(gòu)、納米尺度的顆?;蚪Y(jié)構(gòu)分布??等。與傳統(tǒng)的掃描電子顯微鏡(SEM)相比,??場(chǎng)發(fā)射電子槍(FieldEmissionGun,FEG)??提供了更??細(xì)的電子束、更高的亮度與分辨率(可達(dá)1nm以下)??,因此...
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